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電子科技大學采用Pluto-MD等離子去膠機進行晶圓去膠

發(fā)表時間:2023/3/16 9:42:48

電子科技大學已采購多臺等離子設備,包括PLUTO-T等離子清洗機,PLUTO-MD等離子去膠機等,用戶反饋良好。

主要涉及的應用有:晶圓光刻膠的去除、電子半導體樣品表面有機物的去除、多功能微納結構寬帶吸收器的表面處理等等。


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